德國(guó)dellmeco太陽(yáng)能和半導(dǎo)體-SEMI DMS系列

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公司基本資料信息

德國(guó)dellmeco太陽(yáng)能和半導(dǎo)體-SEMI DMS系列

SEMI DMS 系列中的 Dellmeco 泵專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)。DMS 泵的單獨(dú)組裝在 100 潔凈室中進(jìn)行；所有部件都在這里用去離子水進(jìn)行雙重清潔和測(cè)試。完成后，將它們雙重密封在薄膜中。

　　SEMI T 和 SEMI H 系列中與介質(zhì)接觸的所有部件均由 PTFE 和 TFM 制成。SEMI E 系列中與介質(zhì)接觸的所有部件均由 UPPE（超純聚乙烯）制成。必須檢查所有部件對(duì)介質(zhì)的抵抗力。

　　優(yōu)勢(shì) 覽

　　SEMI T、H 和 E 中沒有金屬成分

　　沒有彈性O(shè)形圈

　　免潤(rùn)滑氣動(dòng)馬達(dá)

　　在 100 潔凈室中進(jìn)行組裝、清潔和泵測(cè)試，并采用密封包裝的雙重包裝

　　耐用的 TFM 隔膜

　　四種材料，適用于大范圍的應(yīng)用。200℃

　　由全材料制成，CNC 制造零件

　　許多附件，如脈動(dòng)阻尼器、泄漏監(jiān)測(cè)等。

　　與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品相比，組件減少了 40%

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