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德國ERS 全自動FOWLP熱拆鍵合系統(tǒng)

產(chǎn)品/服務(wù)：
品牌：	ERS
有效期至：	長期有效
最后更新：	2025-02-15 16:26

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公司基本資料信息

詳細(xì)說明
規(guī)格參數(shù)

德國ERS 全自動FOWLP熱拆鍵合系統(tǒng)

ADM330 三代，晶圓熱拆鍵合&翹曲矯正體機(jī)升版

三代ADM330是 ERS用于扇出型晶圓封裝的全自動熱拆鍵合機(jī)的新及進(jìn)版本。主要升點：

獨特的溫度卡盤設(shè)計允許強(qiáng)大的真空吸附能力

符合GEM300標(biāo)準(zhǔn)，針對工業(yè)4.0

可選附加功能

通過雙面晶圓ID標(biāo)記選項，提高晶圓的可追溯性

獨立的晶圓ID激光打標(biāo)功能

配套功能：翹曲矯正

ERS ADM330系統(tǒng)是用于晶圓和載體的全自動分離（熱拆鍵合）的扇出型晶圓別封裝技術(shù)（FOWLP）。該機(jī)器是通過釋放熱量將載體剝離。然后采用專有的熱處理工藝來減少并控制由于拆鍵合、重構(gòu)晶圓而引發(fā)的翹曲。該系統(tǒng)實現(xiàn)了高產(chǎn)量，并同時保證熱拆鍵合后的晶圓質(zhì)量。